BROOKS 001-4130-03

BROOKS 001-4130-03 产品详情

概述

BROOKS 001-4130-03 是一款晶圆机械手控制器，用于控制晶圆在半导体制造过程中的搬运和定位。它具有以下特点：

• 高精度: 控制精度高，可确保晶圆的精确搬运和定位，满足半导体制造工艺对精度的要求。
• 高可靠性: 采用高品质元件制造，可确保产品在恶劣的环境条件下长期运行。
• 易于使用: 操作简单，易于维护。
• 可扩展性: 支持多种扩展功能，可满足不同应用需求。

特点

• 高精度: 采用先进的控制技术，控制精度高，可确保晶圆的精确搬运和定位，满足半导体制造工艺对精度的要求，减少晶圆在搬运过程中的缺陷率。
• 高可靠性: 采用高品质元件制造，经过严格的测试和质量控制，可确保产品在恶劣的环境条件下长期运行，减少设备故障造成的停机时间。
• 易于使用: 操作简单，易于维护，无需专业人员即可操作，降低了对操作人员的技术要求，减少了设备维护成本。
• 可扩展性: 支持多种扩展功能，例如自动对位、真空吸附、防静电等，可满足不同应用需求，提高设备的灵活性。

应用

BROOKS 001-4130-03 可用于各种晶圆搬运和定位应用，包括：

• 晶圆上片机: 将晶圆从晶圆盒中取出并放置到上片机上。
• 晶圆曝光机: 将晶圆从上片机中取出并放置到曝光机上。
• 晶圆清洗机: 将晶圆从曝光机中取出并放置到清洗机上。
• 晶圆刻蚀机: 将晶圆从清洗机中取出并放置到刻蚀机上。
• 晶圆检测设备: 将晶圆从刻蚀机中取出并放置到检测设备上。
• 晶圆下片机: 将晶圆从检测设备中取出并放置到晶圆盒中。

规格

• 型号: BROOKS 001-4130-03
• 类型: 晶圆机械手控制器
• 控制精度: ±5μm
• 重复精度: ±3μm
• 搬运速度: 最高可达10 m/s
• 负载能力: 5 kg
• 通信接口: RS-232、RS-485
• 防护等级: IP54
• 工作温度: 0°C 至 +50°C (32°F 至 122°F)
• 尺寸: 500 mm x 300 mm x 200 mm (19.69 英寸 x 11.81 英寸 x 7.87 英寸)
• 重量: 10 kg (22.05 磅)