Description
Brooks Automation 001-4130-03 晶圆对准控制器 产品详情
概述
Brooks Automation 001-4130-03 是一款晶圆对准控制器，用于在半导体制造过程中对准晶圆。它采用高精度测量和控制技术，可实现高精度、高速度和高可靠性的晶圆对准。该控制器具有以下特点：
- 高精度： 采用高精度测量和控制技术，可实现 ±0.1 微米的晶圆对准精度。
- 高速度： 可实现高达 10 晶圆/秒的对准速度。
- 高可靠性： 采用工业级设计，元器件质量可靠，使用寿命长。
- 功能强大： 提供多种功能，可满足不同应用需求，例如：
- 多种对准模式
- 实时监控和诊断
- 数据记录和分析
- 易于使用： 提供简单的安装和配置，易于维护。
技术规格
- 型号： 001-4130-03
- 晶圆尺寸： 12 英寸
- 对准精度： ±0.1 微米
- 对准速度： 10 晶圆/秒
- 通信接口： RS-232、RS-485
- 尺寸： 19 英寸机架
- 重量： 50 kg
应用
Brooks Automation 001-4130-03 可用于各种半导体制造应用，包括：
- 晶圆光刻
- 晶圆刻蚀
- 晶圆沉积
- 晶圆测试
山西润盛进出口有限公司
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