Description
LAM 810-800082-043产品详情
LAM 810-800082-043是用于等离子蚀刻系统的VME（VersaModule Eurocard）分线板。它充当VME总线和系统I/O（输入/输出）信号之间的接口。810-800082-043是控制和监控等离子蚀刻过程各个方面的关键组件。
主要特点
VME总线接口：连接到VME总线以与系统主控制器通信。
I/O信号分线：提供对各种I/O信号的轻松访问，用于控制和监控系统组件。
坚固的结构：专为恶劣的工业环境而设计，可承受极端温度、振动和电磁干扰。
可靠的性能：确保可靠的信号传输和数据完整性。
技术规格
总线类型：VME总线
I/O信号：用于控制和监控系统组件的各种I/O信号
防护等级：IP67
工作温度：-40°C至+80°C（-40°F至+176°F）
尺寸：25.4毫米x 12.7毫米x 25.4毫米（1.00英寸x 0.50英寸x 1.00英寸）
应用
LAM 810-800082-043 VME分线板专为等离子蚀刻系统而设计，它在以下方面发挥着关键作用：
控制等离子蚀刻参数：调节气体流量、射频功率和腔室压力等参数，以实现所需的蚀刻结果。
监控蚀刻过程：跟踪蚀刻速率、晶圆温度和其他工艺参数，以确保一致且高质量的蚀刻。
与系统控制器通信：与系统主控制器交换数据，以进行整体过程管理和监督。
优势
使用LAM 810-800082-043 VME分线板可为等离子蚀刻系统带来多种优势：
增强工艺控制：精确控制蚀刻参数可提高蚀刻均匀性和图案保真度。
实时工艺监控：持续监控蚀刻工艺可确保产品质量稳定，并降低缺陷风险。
可靠的系统通信：分线板和系统控制器之间的无缝通信有助于实现高效的工艺管理。
山西润盛进出口有限公司
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