Description
MKS RPS AX7695是一款具有高性能和广泛应用领域的远程等离子源产品。以下是关于MKS RPS AX7695的详细产品信息：
- 型号与规格：
- 型号：RPS AX7695
- 频率：13.56 MHz
- 功率：2 kW
- 等离子体密度：>10^12 cm^-3
- 等离子体均匀性：<5%
- 尺寸：600 mm x 400 mm x 300 mm
- 重量：20 kg1
- 集成与功能：
- AX7695将石英真空室、RF电源和所有必要的控制集成到一个紧凑、独立的单元中，这便于直接安装在工具处理室上2。
- 它为晶圆等应用提供了极其清洁、低成本的原子自由基源，降低了复杂性2。
- 应用领域：
- MKS RPS AX7695远程等离子源广泛应用于各种领域，如晶圆处理等12。
