Description
目前，国际上超精密车床主轴回转精度均已达O．025ｕm。工件表面粗糙度Ｒa=0.01～0.02ｕm，最高达0．0045ｕm。进人21世纪，超精密加工的精度将达至0.001ｕm（1nm）。超精密加工尤其是纳米加工是当前各工业发达国家主攻的目标。此外，超精加工材料对象由金属扩大到非金属，高密度、高能量的粒子束加工工艺和装备，以三维曲面加工为主的高性能超精密加工工艺和装备以及配套的三维超精密检测技术和加工环境的控制技术等正成为进一步的发展趋势。而我国在超精密加工方面尚处于起步阶段。
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