Description
ZYGO ZMI2002 干涉仪产品详情
概述
ZYGO ZMI2002 是一款精密的光学干涉仪，专为三维表面测量而设计。它采用先进的光学技术和测量算法，可实现高精度、高分辨率的表面形貌测量。该干涉仪具有以下特点：
- 高精度: 可测量表面形貌的微小变化，精度高达 0.1 纳米。
- 高分辨率: 可提供高分辨率的表面形貌图像，分辨率高达 0.1 微米。
- 非接触测量: 采用非接触测量方式，不会损坏被测表面。
- 快速测量: 测量速度快，可在几秒钟内完成大面积表面的测量。
- 易用性: 操作简单，易于学习和使用。
产品规格
- 测量范围: 100 mm x 100 mm
- 测量精度: 0.1 纳米
- 测量分辨率: 0.1 微米
- 光源波长: 633 纳米
- 测量模式: 相位步进干涉测量
- 软件: MetroPro X
- 尺寸: 600 x 400 x 300 mm (23.62 x 15.75 x 11.81 英寸)
- 重量: 50 kg (110 lb)
应用
ZYGO ZMI2002 可用于各种三维表面测量应用，包括：
- 光学元件: 用于测量光学元件的表面形貌，如透镜、反射镜等。
- 半导体器件: 用于测量半导体器件的表面形貌，如集成电路、薄膜等。
- 精密机械零件: 用于测量精密机械零件的表面形貌，如轴承、齿轮等。
- 生物医学材料: 用于测量生物医学材料的表面形貌，如人工关节、植入物等。
- 其他表面测量应用: 可用于各种需要高精度、高分辨率表面形貌测量的应用。
